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The Journal of Supercritical Fluids  (2014)

In-Situ FTIR experimental results in the silylation of low-k films with Hexamethyldisilazane dissolved in supercritical carbon dioxide

Eduardo Vyhmeister; Lorenzo Reyes-Bozo; Héctor Valdés-González; José-Luis Salazar; Anthony Muscata, L.; Antonio Estévez; David Suleiman

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Título de la Revista: The Journal of Supercritical Fluids
Volumen: 90
Editorial: Elsevier
Fecha de publicación: 2014
Página de inicio: 134
Página final: 143
DOI/URL:

http://dx.doi.org/10.1016/j.supflu.2014.01.019