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Physics of Plasmas  (2017)

An analytical model of multi-component radio frequency capacitively coupled plasma and experimental validation

Saikia, P.; Bhuyan, H.; Favre, M.; Wyndham, E.; Veloso, F.

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Título de la Revista: Physics of Plasmas
Editorial: American Institute of Physics
Fecha de publicación: 2017
Página de inicio: 13503
Página final: 13503
DOI/URL:

http=>//dx.doi.org/10.1063/1.4973233