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JOURNAL DE PHYSIQUE IV  (2001)

Compact and ultrashort capillary discharge for extreme UV projection lithography

Choi P.; Krisch I.; Larour J.; Dumitrescu C.; Favre, M; Chuvatin A.; Rous J.; Leblanc C.; Guilbert A.

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Título de la Revista: JOURNAL DE PHYSIQUE IV
Volumen: 11
Asunto: 0
Editorial: Society of Laparoendoscopic Surgeons
Fecha de publicación: 2001
Página de inicio: 29
Página final: 30
DOI/URL:

10.1051/jp4:2001710