Estimation of residual stresses in perovskite films for capacitor applications

E. Ramos-Moore, P. Leibenguth; S. Slawik, R.S. Coelho; D. Horwat, S. Migote; B. Lechthaler, F. Mücklich

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Título de la Revista: THIN SOLID FILMS
Editorial: ELSEVIER SEQUOIA
Fecha de publicación: 2018
Página de inicio: 21
Página final: 25
DOI/URL:

10.1016/j.tsf.2018.01.011