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Physics of Plasmas  (2018)

Experimental study and analytical modelling of the effect of the driving frequencies on dual frequency capacitively coupled plasmas

Saikia, P; Bora, B; Schulze, J; Bhuyan, H

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Título de la Revista: Physics of Plasmas
Volumen: 25
Asunto: 8
Editorial: AMER INST PHYSICS
Fecha de publicación: 2018
DOI/URL:

10.1063/1.5032296