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AIP ADVANCES  (2018)

A nonlinear global model of single frequency capacitively coupled plasma and its experimental validation

Saikia, P; Bhuyan, H; Escalona, M; Favre, M; Rawat, RS; Wyndham, E

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Título de la Revista: AIP ADVANCES
Volumen: 8
Asunto: 4
Editorial: AMER INST PHYSICS
Fecha de publicación: 2018
DOI/URL:

10.1063/1.5022654