Study on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 films
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Título de la Revista: | AIP Advances |
Volumen: | 6 |
Asunto: | 4 |
Editorial: | American Institute of Physics Inc. |
Fecha de publicación: | 2016 |
DOI/URL: |
10.1063/1.4947091 |