Study on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 films
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| Título de la Revista: | AIP Advances |
| Volumen: | 6 |
| Asunto: | 4 |
| Editorial: | American Institute of Physics Inc. |
| Fecha de publicación: | 2016 |
| DOI/URL: |
10.1063/1.4947091 |