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Current Applied Physics  (2013)

Mesurements of plasma parameters in capacitively coupled radio frequence plasma from discharge characteristics: correlation with optical emission spectroscopy

Bora B.; Bhuyan H.; Favre M.; Wyndham E. S.; Chuaqui H.; Wong C. S.

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Título de la Revista: Current Applied Physics
Volumen: 13
Fecha de publicación: 2013
Página de inicio: 1448
Página final: 1453
DOI/URL:

http://dx.doi.prg/10.1016/j.cap.2013.04.024