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PHYSICS LETTERS A  (2012)

Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model

Bora B.; Bhuyan H.; Favre M.; Wyndham E. S.; Chuaqui H.

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Título de la Revista: PHYSICS LETTERS A
Volumen: 376
Asunto: 1
Editorial: Unknown
Fecha de publicación: 2012
Página de inicio: 1356
Página final: 1359