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APPLIED PHYSICS LETTERS  (2012)

Theoretical approach for plasma series resonance effect in geometrically symmetric dual radio frequency plasma

Bora B.; Bhuyan H.; Favre M.; Wyndham E. S.; Chuaqui H.

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Título de la Revista: APPLIED PHYSICS LETTERS
Volumen: 100
Asunto: 1
Editorial: Unknown
Fecha de publicación: 2012
Página de inicio: 94103
Página final: 94103
DOI/URL:

http://dx.doi.org/10.1063/1.3690870