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CURRENT APPLIED PHYSICS  (2013)

Measurements of plasma parameters in capacitively coupled radio frequency plasma from discharge characteristics: Correlation with optical emission spectroscopy

Bora, B; Bhuyan, H; Favre M.; Wyndham, E; Chuaqui, H; Wong, CS

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Título de la Revista: CURRENT APPLIED PHYSICS
Volumen: 13
Asunto: 7
Editorial: ELSEVIER SCIENCE BV
Fecha de publicación: 2013
Página de inicio: 1448
Página final: 1453
DOI/URL:

10.1016/j.cap.2013.04.024