Article ISI
APPLIED PHYSICS LETTERS  (2012)

Theoretical approach for plasma series resonance effect in geometrically symmetric dual radio frequency plasma

Bora, B; Bhuyan, H; Favre M.; Wyndham, E; Chuaqui, H

Más información

Título de la Revista: APPLIED PHYSICS LETTERS
Volumen: 100
Asunto: 9
Editorial: AMER INST PHYSICS
Fecha de publicación: 2012
Página de inicio: 0
Página final: 0
DOI/URL:

10.1063/1.3690870