Measurements of time average series resonance effect in capacitively coupled radio frequency discharge plasma
Más información
| Título de la Revista: | Physics of Plasmas |
| Volumen: | 18 |
| Asunto: | 10 |
| Editorial: | AMER INST PHYSICS |
| Fecha de publicación: | 2011 |
| Página de inicio: | 0 |
| Página final: | 0 |
| DOI/URL: |
10.1063/1.3646317 |