Formation of hexagonal silicon carbide by high energy ion beam irradiation on Si(100) substrate
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| Título de la Revista: | JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS |
| Volumen: | 40 |
| Asunto: | 1 |
| Editorial: | IOP PUBLISHING LTD |
| Fecha de publicación: | 2007 |
| Página de inicio: | 127 |
| Página final: | 131 |
| DOI/URL: |
10.1088/0022-3727/40/1/003 |