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JOURNAL OF PHYSICS: CONFERENCE SERIES 511(1)  (2014)

Spectroscopic Characterization Of RF Hydrocarbon Plasmas For DLC Coatings

Guzman, F; Ruiz M.; Valderrama, E; Favre M.; Bhuyan, H; Wynham, E; Chuaqui, H

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Título de la Revista: JOURNAL OF PHYSICS: CONFERENCE SERIES 511(1)
Editorial: IOP PUBLISHING LTD
Fecha de publicación: 2014
Página de inicio: 12017
Página final: 12022
DOI/URL:

http://iopscience.iop.org/1742-6596/511/1/012017