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International Journal of Applied Physics and Mathematics 1 (2)  (2011)

Diagnostic of Capacitively Coupled Low Pressure Radio Frequency Plasma: An Approach through Electrical Discharge Characteristic

Bora, B; Bhuyan, H; Favre, M; Wyndham, E; Chuaqui, H

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Título de la Revista: International Journal of Applied Physics and Mathematics 1 (2)
Fecha de publicación: 2011
Página de inicio: 124
Página final: 128
DOI/URL:

http://www.ijapm.org/papers/024-P0024.pdf