Article ISI SCOPUS
Current Applied Physics  (2013)

Measurements of plasma parameters in capacitively coupled radio frequency plasma from discharge characteristics: Correlation with optical emission spectroscopy

Bora, B; Bhuyan, H; Favre, M.; Wyndham E.; Chuaqui, H; Wong, CS

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Título según WOS: Measurements of plasma parameters in capacitively coupled radio frequency plasma from discharge characteristics: Correlation with optical emission spectroscopy
Título según SCOPUS: Measurements of plasma parameters in capacitively coupled radio frequency plasma from discharge characteristics: Correlation with optical emission spectroscopy
Título de la Revista: Current Applied Physics
Volumen: 13
Número: 7
Editorial: Elsevier B.V.
Fecha de publicación: 2013
Página de inicio: 1448
Página final: 1453
Idioma: English
URL: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S1567173913001843
DOI:

10.1016/j.cap.2013.04.024
Notas: ISI, SCOPUS