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Physics of Plasmas  (2015)

Effect of driving voltages in dual capacitively coupled radio frequency plasma: A study by nonlinear global model

Bora, B

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Título según WOS: Effect of driving voltages in dual capacitively coupled radio frequency plasma: A study by nonlinear global model
Título según SCOPUS: Effect of driving voltages in dual capacitively coupled radio frequency plasma: A study by nonlinear global model
Título de la Revista: Physics of Plasmas
Volumen: 22
Número: 10
Editorial: American Institute of Physics Inc.
Fecha de publicación: 2015
Idioma: English
DOI:

10.1063/1.4932080
Notas: ISI, SCOPUS