Material selection for hybrid floating gate NAND memory applications

Lisoni, JG; Breuil, L; Blomme, P; Meersschaut, J; Bergmaier, A; Dollinger, G; Van den Bosch, G; van Houdt, J

Keywords: hybrid floating gate, flash NAND, high-k integrate dielectrics, high work function metal gates

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Título según WOS: Material selection for hybrid floating gate NAND memory applications
Título según SCOPUS: Material selection for hybrid floating gate NAND memory applications
Título de la Revista: PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE
Volumen: 213
Número: 2
Editorial: WILEY-V C H VERLAG GMBH
Fecha de publicación: 2016
Página de inicio: 237
Página final: 244
Idioma: English
DOI:

10.1002/pssa.201532829

Notas: ISI, SCOPUS