Patterning of sub-50nm perpendicular CoFeB/MgO-based magnetic tunnel junctions

Tryputen L.; Tu K.-H.; Piotrowski S.K.; Bapna M.; Majetich S.A.; Sun, C.; Voyles P.M.; Almasi H.; Wang, W.; Vargas, P.; Tresback J.S.; Ross, C. A.

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Título según WOS: Patterning of sub-50nm perpendicular CoFeB/MgO-based magnetic tunnel junctions
Título según SCOPUS: Patterning of sub-50 nm perpendicular CoFeB/MgO-based magnetic tunnel junctions
Título de la Revista: NANOTECHNOLOGY
Volumen: 27
Número: 18
Editorial: IOP PUBLISHING LTD
Fecha de publicación: 2016
Idioma: English
DOI:

10.1088/0957-4484/27/18/185302

Notas: ISI, SCOPUS