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International Journal of Applied Physics and Mathematics  (2011)

Diagnostic of Capacitively Coupled Low Pressure Radio Frequency Plasma: An Approach through Electrical Discharge Characteristic

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Título de la Revista: International Journal of Applied Physics and Mathematics
Fecha de publicación: 2011
Página de inicio: 124
Página final: 128
DOI:

10.7763/IJAPM.2011.V1.24