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Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films  (2014)

Argon–oxygen dc magnetron discharge plasma probed with ion acoustic waves

Goswami, Kalyan Sindhu; Phukan, Arindam

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Título de la Revista: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
Volumen: 32
Número: 3
Fecha de publicación: 2014
Página de inicio: 031303
DOI:

10.1116/1.4871081