Abstract

Procedimiento y reactor para la obtención de nanopartículas.#Se usa el reactor de plasma de la Fig.1, que tiene una cámara de vacío 3, una cámara de plasma 4 provista de un cátodo, un canal de recolección 5 cuyas paredes actúan como ánodo, una entrada de gases 1 a la cámara de vacío 3, y una entrada de gases 2 a la cámara de plasma 4. Se realiza el vacío deseado, se inicia la excitación del plasma y se modula con pulsos rectangulares, se introduce silano diluido en argón, sincronizando el flujo del gas de arrastre con la modulación de plasma de manera que la presión total sea constante, y finalmente se recolectan las nanopartículas. Es útil para la obtención de nanopartículas de tamaños pequeños (hasta 3 nm de diámetro) y de baja dispersión (menor que 15%), incluso a temperatura ambiente.