Article ISI
JOURNAL DE PHYSIQUE IV  (2001)

Compact and ultrashort capillary discharge for extreme UV projection lithography

Choi, P; Krisch I.; Larour J.; Dumitrescu C.; Favre, M.; Chuvatin A.; Rous J.; Leblanc, C; Guilbert A.

Más información

Título según WOS: Compact and ultrashort capillary discharge for extreme UV projection lithography
Título de la Revista: JOURNAL DE PHYSIQUE IV
Volumen: 11
Número: PR7
Editorial: E D P Sciences
Fecha de publicación: 2001
Página de inicio: 29
Página final: 30
Idioma: French
URL: http://www.edpsciences.org/10.1051/jp4:2001710
DOI:

10.1051/jp4:2001710
Notas: ISI