Stress evolution in integrated SrBi2Ta2O9 ferroelectric layers
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| Título de la Revista: | Materials Research Society Symposium - Proceedings |
| Volumen: | 784 |
| Fecha de publicación: | 2003 |
| Página de inicio: | 3 |
| Página final: | 8 |
| DOI: |
DOI: 10.1557/proc-784-c1.2 |
| Notas: | SCOPUS |