Formation of hexagonal silicon carbide by high energy ion beam irradiation on Si(100) substrate
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| Título de la Revista: | JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS | 
| Volumen: | 40 | 
| Asunto: | 1 | 
| Editorial: | IOP PUBLISHING LTD | 
| Fecha de publicación: | 2007 | 
| Página de inicio: | 127 | 
| Página final: | 131 | 
| DOI/URL: | 10.1088/0022-3727/40/1/003 | 
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