Formation of hexagonal silicon carbide by high energy ion beam irradiation on Si(100) substrate
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Título de la Revista: | JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS |
Volumen: | 40 |
Asunto: | 1 |
Editorial: | IOP PUBLISHING LTD |
Fecha de publicación: | 2007 |
Página de inicio: | 127 |
Página final: | 131 |
DOI/URL: |
10.1088/0022-3727/40/1/003 |