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CHEMICAL ENGINEERING COMMUNICATIONS  (2016)

Study of low-k film functionalization and pore sealing using chlorosilanes dissolved in supercritical carbon dioxide

Vyhmeister, Eduardo; Reyes-Bozo, Lorenzo; Rodríguez-Maecker, Roman; Muscat, Anthony; Suleiman, David; Estévez, Antonio

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Título de la Revista: CHEMICAL ENGINEERING COMMUNICATIONS
Editorial: TAYLOR & FRANCIS INC
Fecha de publicación: 2016
Página de inicio: 880
Página final: 889
DOI/URL:

10.1080/00986445.2015.1116068