Measurements of time average series resonance effect in capacitively coupled radio frequency discharge plasma

Bora, B; Bhuyan, H; Favre, M; Wyndham, E; Chuaqui, H; Kakati, M

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Título de la Revista: PHYSICS OF PLASMAS
Volumen: 18
Asunto: 10
Editorial: AIP
Fecha de publicación: 2011
DOI/URL:

10.1063/1.3646317