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APPLIED SURFACE SCIENCE  (2007)

Effect of high energy ion irradiation on silicon substrate in a pulsed plasma device

Bhuyan, H; Favre, M; Valderrama E.; Avaria G.; Guzman, F; Chuaqui, H; Mitchell I.; Wyndham, E; SAAVEDRA, R; Paulraj M.

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Título de la Revista: APPLIED SURFACE SCIENCE
Volumen: 254
Asunto: 1
Editorial: Elsevier
Fecha de publicación: 2007
Página de inicio: 197
Página final: 200
DOI/URL:

10.1016/j.apsusc.2007.07.029