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Chemical Engineering Communications  (2016)

Study of Low-k Film Functionalization and Pore Sealing Using Chlorosilanes Dissolved in Supercritical Carbon Dioxide

Vyhmeister E., Reyes-Bozo L.; Rodríguez-Maecker R., Muscat A.; Suleiman D., Estévez L.A.

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Título de la Revista: Chemical Engineering Communications
Volumen: 203
Asunto: 7
Editorial: Taylor & Francis
Fecha de publicación: 2016
Página de inicio: 880
Página final: 889
DOI/URL:

10.1080/00986445.2015.1116068