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PHYSICS OF PLASMAS  (2018)

Experimental study and analytical modelling of the effect of the driving frequencies on dual frequency capacitively coupled plasmas

Saikia, P; Bora. B, Bhuyan; H,

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Título de la Revista: PHYSICS OF PLASMAS
Editorial: AMERICAN INSTITUTE OF PHYSICS
Fecha de publicación: 2018
Página de inicio: 83501
Página final: 8
DOI/URL:

10.1063/1.5032296