Estimation of residual stresses in perovskite films for capacitor applications
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Título de la Revista: | THIN SOLID FILMS |
Editorial: | ELSEVIER SEQUOIA |
Fecha de publicación: | 2018 |
Página de inicio: | 21 |
Página final: | 25 |
DOI/URL: |
10.1016/j.tsf.2018.01.011 |