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Physics of Plasmas  (2017)

An analytical model of multi-component radio frequency capacitively coupled plasma and experimental validation

Saikia, Partha; Bhuyan, Heman; Favre, Mario; Wyndham, Edmundo; Veloso, Felipe

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Título de la Revista: Physics of Plasmas
Volumen: 24
Asunto: 1
Editorial: AMER INST PHYSICS
Fecha de publicación: 2017
DOI/URL:

10.1063/1.4973233