Study on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 films

Saikia, Partha; Saikia, Bipul Kumar; Bhuyan, Heman

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Título de la Revista: AIP Advances
Volumen: 6
Asunto: 4
Editorial: American Institute of Physics Inc.
Fecha de publicación: 2016
DOI/URL:

10.1063/1.4947091