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JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS  (2016)

Effect of hydrogen addition on the deposition of titanium nitride thin films in nitrogen added argon magnetron plasma

Saikia, P; Bhuyan, H; Diaz-Droguett, D. E.; Guzman, F; Mndl, S; Saikia, B K; Favre, M.; Maze J.R., Wyndham E.

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Título de la Revista: JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS
Volumen: 49
Asunto: 22
Editorial: IOP PUBLISHING LTD
Fecha de publicación: 2016
DOI/URL:

10.1088/0022-3727/49/22/225203