Influence of the oxygen consumption on the crystalline structure of titanium oxides thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering

Villarroel, R; Espinoza-Gonzalez, R; Lisoni, J; Gonzalez-Moraga, G

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Título de la Revista: Vacuum 154
Fecha de publicación: 2018
Página de inicio: 52
Página final: 57