Characterization of Capacitively Coupled Radio-frequency Argon Plasma by Electrical Circuit Simulation

Bora B.; Bhuyan H.; Favre M.; Wyndham E. S.; Chuaqui H.

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Título de la Revista: Applied Mechanics and Materials
Volumen: 110
Asunto: 1
Fecha de publicación: 2012
Página de inicio: 5373
Página final: 5279