Article ISI
PHYSICS LETTERS A  (2012)

Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model

Bora, B; Bhuyan, H; Favre M.; Wyndham, E; Chuaqui, H

Más información

Título de la Revista: PHYSICS LETTERS A
Volumen: 376
Asunto: 16
Editorial: ELSEVIER SCIENCE BV
Fecha de publicación: 2012
Página de inicio: 1356
Página final: 1359
DOI/URL:

10.1016/j.physleta.2012.03.004