Measurements of time average series resonance effect in capacitively coupled radio frequency discharge plasma
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Título de la Revista: | Physics of Plasmas |
Volumen: | 18 |
Asunto: | 10 |
Editorial: | AMER INST PHYSICS |
Fecha de publicación: | 2011 |
Página de inicio: | 0 |
Página final: | 0 |
DOI/URL: |
10.1063/1.3646317 |