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Applied Mechanics and Materials 110-116  (2012)

Characterization of Capacitively Coupled Radio-Frequency Argon Plasma by Electrical Circuit Simulation

Bora, B; Bhuyan, H; Favre, M; Wyndham, E; Chuaqui, H

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Título de la Revista: Applied Mechanics and Materials 110-116
Editorial: Trans Tech Publications
Fecha de publicación: 2012
Página de inicio: 5373
Página final: 5379
DOI/URL:

http://www.scientific.net/AMM.110-116.5373