METALLOPHOSPHAZENE PRECURSOR ROUTES TO THE SOLID-STATE DEPOSITION OF METALLIC AND DIELECTRIC MICROSTRUCTURES AND NANOSTRUCTURES ON SI AND SIO(2)
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Título de la Revista: | LANGMUIR |
Volumen: | 26 |
Editorial: | AMER CHEMICAL SOC |
Fecha de publicación: | 2010 |
Página de inicio: | 10223 |
Página final: | 10233 |