METALLOPHOSPHAZENE PRECURSOR ROUTES TO THE SOLID-STATE DEPOSITION OF METALLIC AND DIELECTRIC MICROSTRUCTURES AND NANOSTRUCTURES ON SI AND SIO(2)

Díaz, Carlos; Valenzuela, Maria; Laguna, Antonio; Lavayen, Vladimir; Jimenez, Josefina; Power, Lynn; Odwyer, Colm

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Título de la Revista: LANGMUIR
Volumen: 26
Editorial: AMER CHEMICAL SOC
Fecha de publicación: 2010
Página de inicio: 10223
Página final: 10233