Optimized Ni Oxidation in 80-nm Contact Holes for Integration of Forming-Free and Low-Power Ni/NiO/Ni Memory Cells
Keywords: integration, scaling, NiO memory, reset current
Más información
Título de la Revista: | IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES |
Volumen: | 56 |
Número: | 10 |
Editorial: | IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC |
Fecha de publicación: | 2009 |
Página de inicio: | 2363 |
Página final: | 2368 |
Idioma: | English |
Notas: | ISI |