Optimized Ni Oxidation in 80-nm Contact Holes for Integration of Forming-Free and Low-Power Ni/NiO/Ni Memory Cells
Keywords: integration, scaling, NiO memory, reset current
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| Título de la Revista: | IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES |
| Volumen: | 56 |
| Número: | 10 |
| Editorial: | IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC |
| Fecha de publicación: | 2009 |
| Página de inicio: | 2363 |
| Página final: | 2368 |
| Idioma: | English |
| Notas: | ISI |