Article SCOPUS
Journal De Physique. IV : JP  (2001)

Décharge capillaire compacte et ultra-brève pour la lithographie UV extrême par projection

Choi, P; Krisch I.; Larour J.; Dumitrescu C.; Favre, M.; Chuvatin A.; Rous J.; Leblanc C.; Guilbert A.

Abstract

[No abstract available]

Más información

Título según SCOPUS: Décharge capillaire compacte et ultra-brève pour la lithographie UV extrême par projection
Título de la Revista: Journal De Physique. IV : JP
Volumen: 11
Número: 7
Editorial: Les Editions de physique
Fecha de publicación: 2001
Página de inicio: Pr7
Página final: 29-Pr7-30
Idioma: French
Notas: SCOPUS