Article SCOPUS
JOURNAL DE PHYSIQUE IV  (2001)

Décharge capillaire compacte et ultra-brève pour la lithographie UV extrême par projection

Choi, P; Krisch I.; Larour J.; Dumitrescu C.; Favre, M.; Chuvatin A.; Rous J.; Leblanc C.; Guilbert A.

Abstract

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Título según SCOPUS: Décharge capillaire compacte et ultra-brève pour la lithographie UV extrême par projection
Título de la Revista: JOURNAL DE PHYSIQUE IV
Volumen: 11
Número: 7
Editorial: E D P Sciences
Fecha de publicación: 2001
Página de inicio: Pr7
Página final: 29-Pr7-30
Idioma: French
Notas: SCOPUS