Influences of electrode configurations in dual capacitively coupled radio frequency glow discharge plasma

Bora, B; Soto L.

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Título según WOS: Influences of electrode configurations in dual capacitively coupled radio frequency glow discharge plasma
Título según SCOPUS: Influences of electrode configurations in dual capacitively coupled radio frequency glow discharge plasma B Bora
Título de la Revista: Journal of Physics: Conference Series
Volumen: 591
Número: 1
Editorial: Institute of Physics Publishing
Fecha de publicación: 2015
Idioma: English
DOI:

10.1088/1742-6596/591/1/012064

Notas: ISI, SCOPUS