Article ISI SCOPUS
Plasma Sources Science and Technology  (2015)

Studies on the effect of finite geometrical asymmetry in dual capacitively coupled radio frequency plasma

Bora, B

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Título según WOS: Studies on the effect of finite geometrical asymmetry in dual capacitively coupled radio frequency plasma
Título según SCOPUS: Studies on the effect of finite geometrical asymmetry in dual capacitively coupled radio frequency plasma
Título de la Revista: Plasma Sources Science and Technology
Volumen: 24
Número: 5
Editorial: Institute of Physics Publishing
Fecha de publicación: 2015
Idioma: English
DOI:

10.1088/0963-0252/24/5/054002
Notas: ISI, SCOPUS