Study on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 films
Más información
Título según WOS: | Study on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 films |
Título según SCOPUS: | Study on the effect of hydrogen addition on the variation of plasma parameters of argon-oxygen magnetron glow discharge for synthesis of TiO2 films |
Título de la Revista: | AIP ADVANCES |
Volumen: | 6 |
Número: | 4 |
Editorial: | AMER INST PHYSICS |
Fecha de publicación: | 2016 |
Idioma: | English |
DOI: |
10.1063/1.4947091 |
Notas: | ISI, SCOPUS |