Diagnostic of Capacitively Coupled Low Pressure Radio Frequency Plasma: An Approach through Electrical Discharge Characteristic
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Título de la Revista: | International Journal of Applied Physics and Mathematics |
Fecha de publicación: | 2011 |
Página de inicio: | 124 |
Página final: | 128 |
DOI: |
10.7763/IJAPM.2011.V1.24 |