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Physics of Plasmas  (2013)

Study on the effect of target on plasma parameters of magnetron sputtering discharge plasma

Saikia, P.; Kakati, B.; Saikia, B. K.

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Título de la Revista: Physics of Plasmas
Volumen: 20
Número: 10
Fecha de publicación: 2013
Página de inicio: 103505
DOI:

10.1063/1.4825235