Article
PHYSICS OF PLASMAS  (2013)

Study on the effect of target on plasma parameters of magnetron sputtering discharge plasma

Kakati, B.

Más información

Título de la Revista: PHYSICS OF PLASMAS
Volumen: 20
Número: 10
Editorial: MELVILLE
Fecha de publicación: 2013
Página de inicio: 103505
DOI:

10.1063/1.4825235