Argon–oxygen dc magnetron discharge plasma probed with ion acoustic waves

Saikia, Partha; Saikia, Bipul Kumar; Goswami, Kalyan Sindhu; Phukan, Arindam

Más información

Título de la Revista: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
Volumen: 32
Número: 3
Fecha de publicación: 2014
Página de inicio: 031303
DOI:

10.1116/1.4871081