Argon–oxygen dc magnetron discharge plasma probed with ion acoustic waves
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| Título de la Revista: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A |
| Volumen: | 32 |
| Número: | 3 |
| Editorial: | MELVILLE |
| Fecha de publicación: | 2014 |
| Página de inicio: | 031303 |
| DOI: |
10.1116/1.4871081 |