Argon–oxygen dc magnetron discharge plasma probed with ion acoustic waves
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Título de la Revista: | Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films |
Volumen: | 32 |
Número: | 3 |
Fecha de publicación: | 2014 |
Página de inicio: | 031303 |
DOI: |
10.1116/1.4871081 |