Role of substrate and deposition conditions on the texture evolution of titanium nitride thin film on bare and plasma-nitrided high-speed steel
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Título de la Revista: | Journal of Theoretical and Applied Physics |
Volumen: | 7 |
Número: | 1 |
Fecha de publicación: | 2013 |
Página de inicio: | 66 |
DOI: |
10.1186/2251-7235-7-66 |